TP630（離子注入）
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關(guān)鍵詞：
半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體工藝
所屬分類(lèi)：
產(chǎn)品描述
TP630 利用 PUMP 激光器對(duì)晶圓表面加熱來(lái)測(cè)量反射晶格 damage 程度熱波特征間接計(jì)算出與離子植入量成線(xiàn)性關(guān)系的 TW 值（infinity）。
產(chǎn)品詢(xún)價(jià)
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